摘要:低壓擴(kuò)散是一種通過改善爐管氣密性、增加真空系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的擴(kuò)散方式，真空系
統(tǒng)提供低壓力氛圍，從而增加三氯氧磷分子平均自由程，提高擴(kuò)散均勻性、穩(wěn)定性
和成膜致密性；通過低壓擴(kuò)散工藝，可以獲得均勻的p-n 結(jié)結(jié)構(gòu)，更易實(shí)現(xiàn)淺結(jié)高方
阻擴(kuò)散工藝，提升電池轉(zhuǎn)換效率。同時(shí)低壓擴(kuò)散以其優(yōu)異的方阻均勻性大大提高單
管產(chǎn)能，降低制造成本。

田松興 董廣斌 李寶磊 

晶澳(揚(yáng)州)太陽能科技有限公司

原標(biāo)題：低壓擴(kuò)散在晶硅太陽電池中的應(yīng)用 

中國(guó)光伏大會(huì)